| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING METAL OXIDE THIN FILM PATTERN |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06172068(A) |
申请公布日期 |
1994.06.21 |
| 申请号 |
JP19920349973 |
申请日期 |
1992.12.03 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
OGI KATSUMI;UCHIDA HIROTO;SOYAMA NOBUYUKI;ZEN HIDEKI |
| 分类号 |
C01G1/02;C04B41/91;C23C18/12;(IPC1-7):C04B41/91 |
主分类号 |
C01G1/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
