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发明名称
Kathoden- und Target-Anordnung für eine Beschichtungsvorrichtung zum Zerstäuben.
摘要
申请公布号
DE3787390(T2)
申请公布日期
1994.06.16
申请号
DE19873787390T
申请日期
1987.04.03
申请人
MATERIALS RESEARCH CORP., ORANGEBURG, N.Y.
发明人
HURWITT, STEVEN D., PARK RIDGE NEW JERSEY 07656
分类号
C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34;C23C14/36
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
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