发明名称 Target für eine in einer evakuierbaren mit einem Prozeßgas flutbaren Prozeßkammer angeordneten Kathode
摘要
申请公布号 DE4242079(A1) 申请公布日期 1994.06.16
申请号 DE19924242079 申请日期 1992.12.14
申请人 LEYBOLD AG, 63450 HANAU 发明人 SZCZYRBOWSKI, JOACHIM, DR., 8758 GOLDBACH
分类号 C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
地址