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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung mit Wellenleiterstruktur.
摘要
申请公布号 DE68911453(T2) 申请公布日期 1994.06.16
申请号 DE19896011453T 申请日期 1989.09.22
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN, EINDHOVEN 发明人 BLOOD, PETER, SURREY RH1 5HA;FOXON, CHARLES THOMAS, SURREY RH1 5HA
分类号 G02B6/12;G02B6/122;G02B6/13;H01L33/00;H01L33/04;H01L33/06;H01S5/00;H01S5/042;H01S5/20;H01S5/34;(IPC1-7):H01L33/00;H01L21/20;H01S3/19 主分类号 G02B6/12
代理机构 代理人
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