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发明名称 Methode zur Erzeugung von Ortsverbindungen mit Gebrauch von chlorenthaltenden Mitteln.
摘要
申请公布号 DE68911174(T2) 申请公布日期 1994.06.16
申请号 DE19896011174T 申请日期 1989.02.03
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS, TEX. 发明人 DOUGLAS, MONTE A., COPPELL TEXAS 75019
分类号 C23F1/12;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/28;H01L21/90 主分类号 C23F1/12
代理机构 代理人
主权项
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