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经营范围
发明名称
Gas inlet arrangement
摘要
申请公布号
GB9407818(D0)
申请公布日期
1994.06.15
申请号
GB19940007818
申请日期
1994.04.20
申请人
BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
分类号
C23C14/00;C23C14/34;C23C14/35;C23C16/455;C23F4/00;H01L21/203;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
C23C14/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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