发明名称 DEVICE FOR MEASURING DISTRIBUTION OF SPECIFIC RESISTANCE OF SEMICONDUCTING MATERIALS
摘要
申请公布号 RU967177(C) 申请公布日期 1994.06.15
申请号 SU19813238133 申请日期 1981.01.15
申请人 SIBIRSKIJ FIZIKO-TEKHNICHESKIJ INSTITUT IM.V.D.KUZNETSOVA PRI TOMSKOM GOSUDARSTVENNOM UNIVERSITETE IM.V.V.KUJBYSHEVA 发明人 AKHMANAEV V.B.;BORZUNOV N.G.;MEDVEDEV YU.V.;SAFRONOV A.I.
分类号 G01R27/32;(IPC1-7):G01R27/32 主分类号 G01R27/32
代理机构 代理人
主权项
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