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发明名称 Formation of laser mirror facets and integration of optoelectronics.
摘要
申请公布号 EP0394167(B1) 申请公布日期 1994.06.15
申请号 EP19900480042 申请日期 1990.03.13
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 COSTRINI, GREGORY;JAMBOTKAR, CHAKRAPANI GAJANAN
分类号 H01L27/15;G02B6/124;H01S5/00;H01S5/02;H01S5/026;H01S5/028;H01S5/227;(IPC1-7):H01L33/00;H01S3/025 主分类号 H01L27/15
代理机构 代理人
主权项
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