摘要 |
Microcapteur à poutre vibrante compensé en température, comprenant des moyens de mesure (28, 32, 42) de la fréquence de résonance (f) de la poutre vibrante (16), des moyens (28, 32, 40) de mesure de la température par détermination interférométrique de l'épaisseur optique de la poutre (16) et des moyens (44) de détermination d'une grandeur physique à mesurer à partir de la fréquence de résonance et de la température. Application à des mesures de pression. |