| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON UNTEREINANDER SELBSTALIGNIERTEN GRÄBEN UNTER VERWENDUNG EINER MASKE. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT105973(T) |
申请公布日期 |
1994.06.15 |
| 申请号 |
AT19850900934T |
申请日期 |
1985.02.01 |
| 申请人 |
ADVANCED MICRO DEVICES, INC. |
发明人 |
BOWER, ROBERT, W. |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/308;H01L21/31;H01L21/3205;H01L21/762;H01L21/763;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/308 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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