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发明名称 Method for making a polysilicon transistor.
摘要
申请公布号 EP0364818(B1) 申请公布日期 1994.06.15
申请号 EP19890118457 申请日期 1989.10.05
申请人 MOTOROLA, INC. 发明人 MADAN, SUDHIR K.
分类号 H01L21/822;H01L29/78;H01L21/336;H01L21/768;H01L21/8244;H01L27/11;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/285;H01L21/28;H01L27/06 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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