PLASMA TREATING METHOD USING HYDROGEN GAS,申请号KR19910010712-传众专利搜索

发明名称	PLASMA TREATING METHOD USING HYDROGEN GAS
摘要
申请公布号	KR940005287(B1)	申请公布日期	1994.06.15
申请号	KR19910010712	申请日期	1991.06.26
申请人	FUJITSU LTD.	发明人	FUJIMURA SHUZO;TAKEUCHI, TATSUYA;NAKANO, YOSHIMASA;MIYANAKA, TAKESHI;MADOBA, YUJI
分类号	C23C16/02;G03F7/36;G03F7/40;H01L21/306;H01L21/311;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/31	主分类号	C23C16/02
代理机构		代理人
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