METHODS AND APPARATUS FOR DEPOSITING BARRIER COATINGS.

摘要

Une couche d'arrêt est formée sur un objet polymère (B, C) tel que l'intérieur d'un récipient thermoplastique. Un gaz oxydant (70) est transformé en plasma dans une chambre à plasma (46) située à distance de la chambre de traitement (32). Les espèces oxydantes activées au plasma obtenues sont acheminées vers l'intérieur (40) du récipient. Une vapeur réactive organo-silicique (76) est acheminée séparement mais néanmoins simultanément vers l'intérieur (40) du récipient, de manière à ce que ladite vapeur organo-silicique et les espèces actives oxydantes se mélangent à l'intérieur du récipient. Un champ électrique (42, 44) est également appliqué au récipient, de manière que les produits de la réaction se déposent sous l'effet du champ électrique afin de former la couche d'arrêt. La figure présente un schéma de cette invention qui contient une chambre à plasma (46) située à distance de la chambre de traitement (32).