摘要 |
Une puce de silicium (10) est micro-usinée de sorte que l'on obtienne plusieurs dents (18) qui s'étendent radialement et de manière coplanaire à partir d'une surface externe périphérique (22) d'une base circulaire (14). Des premier et second organes de montage (28, 36) partent de la base pour monter la base (14) sur un support (32). Le premier organe de montage est disposé d'une manière généralement perpendiculaire au second organe de montage. Un générateur d'impulsion (74) applique des impulsions électrostatiques ou électromagnétiques aux extrémités libres successives de la pluralité de dents de sorte que chaque dent vibre momentanément dans le plan en séquence rotationnelle le long de la circonférence de la base. Les vibrations successives établissent un moment net angulaire approchant une roue en rotation de sorte que la rotation du détecteur autour de l'axe de l'un des deux organes de montage provoque la déformation de l'autre organe de montage en raison d'une force de Coriolis. Une pluralité de jauges de contrainte (RX1-RX8, RY1-RY8) interconnectées afin de former des ponts de Wheatstone (40, 44, 48, 52) sont disposées sur les premier et second organes de montage pour détecter respectivement leur déformation. |