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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06168906(A) 申请公布日期 1994.06.14
申请号 JP19920341568 申请日期 1992.11.27
申请人 RICOH CO LTD 发明人 DOURA SHOJI
分类号 H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522;H01L29/43;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/90;H01L29/46 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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