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发明名称 SURFACE INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06167457(A) 申请公布日期 1994.06.14
申请号 JP19920075562 申请日期 1992.02.27
申请人 TETO TECHNO INBUESUTOMENTO TORASUTO SETORUMENTO 发明人 KOSUMASU MARIN;EDOGAARU EFU SHIYUTAIKUMAIERU;TOOMASU NEEZENZOON;HARII ERU ZAWATSUKII;HAINRITSUHI AUDAASETSUTO
分类号 G01B11/30;G01M11/02;G01N21/88;G01N21/89;G01N21/93;G01N21/95;G01N21/956;G02B21/10;G11B5/84;G11B7/26;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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