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发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06168861(A) 申请公布日期 1994.06.14
申请号 JP19920345407 申请日期 1992.11.30
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HISA YOSHIHIRO
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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