| 发明名称 |
WAFER ELECTRIFICATION RESTRAINING DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06168698(A) |
申请公布日期 |
1994.06.14 |
| 申请号 |
JP19920318636 |
申请日期 |
1992.11.27 |
| 申请人 |
SUMITOMO EATON NOBA KK |
发明人 |
TAMAI TADAMOTO;MURAKAMI JUNICHI;KAWAGUCHI HIROSHI |
| 分类号 |
H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 |
主分类号 |
H01J37/317 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
