发明名称 PROBE CARD
摘要
申请公布号 JPH06167514(A) 申请公布日期 1994.06.14
申请号 JP19920341694 申请日期 1992.11.27
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 YAMAMOTO KENJI
分类号 G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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