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发明名称 OPTICAL SCALE APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH06167311(A) 申请公布日期 1994.06.14
申请号 JP19920339556 申请日期 1992.11.27
申请人 ISHIFUKU METAL IND CO LTD 发明人 ISHII NOBUO;ISHIYAMA NORITAKA
分类号 G01B11/02;G01D5/245;G01D5/56;(IPC1-7):G01B11/02 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
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