| 发明名称 |
INTEGRATED-CIRCUIT TESTING WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06168997(A) |
申请公布日期 |
1994.06.14 |
| 申请号 |
JP19930153470 |
申请日期 |
1993.06.24 |
| 申请人 |
UNISYS CORP |
发明人 |
SEBAATO KUMUBASAARU;JIYONASAN AREN REBI;RICHIYAADO JIYON PETSUTOSHIYAUAA;ROI RATSUSERU SHIYANKUSU |
| 分类号 |
H01L21/66;H01L23/544;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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