| 发明名称 |
FORMATION METHOD OF INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06168908(A) |
申请公布日期 |
1994.06.14 |
| 申请号 |
JP19910335922 |
申请日期 |
1991.11.27 |
| 申请人 |
AMERICAN TELEPH & TELEGR CO <ATT> |
发明人 |
SAIRESHIYU SHICHIPEDEI;UIRIAMU TOOMASU KOKURAN;MAIKERU JIEEMUSU KERII |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/320;H01L21/90 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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