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经营范围
发明名称
VIA HOLE INSPECTING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH06167461(A)
申请公布日期
1994.06.14
申请号
JP19920319983
申请日期
1992.11.30
申请人
FUJITSU LTD
发明人
OKA KOJI;ANDO MORITOSHI
分类号
G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;H01L21/66;H01S3/00;(IPC1-7):G01N21/88
主分类号
G01N21/88
代理机构
代理人
主权项
地址
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