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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06169020(A) 申请公布日期 1994.06.14
申请号 JP19920321742 申请日期 1992.12.01
申请人 NEC CORP 发明人 ISHIHARA ISAO
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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