| 发明名称 |
METHOD FOR PROCESSING INGOT OF SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06166600(A) |
申请公布日期 |
1994.06.14 |
| 申请号 |
JP19920320533 |
申请日期 |
1992.11.30 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
HIRANO YOSHIHIRO;OZAKI ATSUSHI |
| 分类号 |
B24B1/00;B23D5/00;B28D1/22;B28D5/00;B28D5/02;C30B33/00;G01N23/207;H01L21/304;(IPC1-7):C30B33/00 |
主分类号 |
B24B1/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
