首页 产品 黄页 商标 征信
会员服务 注册 登录 
全部
 |
企业名
 |
法人/股东/高管
 |
品牌/产品
 |
地址
 |
经营范围
发明名称 DRY ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06163465(A) 申请公布日期 1994.06.10
申请号 JP19920312526 申请日期 1992.11.24
申请人 HITACHI LTD 发明人 TSUJIMOTO KAZUNORI;KUMIHASHI KOSEI;KOTO NAOYUKI;TAJI SHINICHI
分类号 C23F4/00;G01N24/14;G01R33/64;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
©  2024 传众  czvv.com