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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH06163726(A)
申请公布日期
1994.06.10
申请号
JP19920308499
申请日期
1992.11.18
申请人
HITACHI LTD
发明人
HASEGAWA MASATOSHI;HIROKI MASANORI
分类号
H01L21/66;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/90
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
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