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发明名称 METAL BUMP AND FORMATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06163549(A) 申请公布日期 1994.06.10
申请号 JP19920310690 申请日期 1992.11.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 WATANABE HIROMICHI;SUDOU SEIJI
分类号 H01L21/60;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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