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发明名称 FINE PATTERN FORMATION
摘要
申请公布号 JPH06163355(A) 申请公布日期 1994.06.10
申请号 JP19920318924 申请日期 1992.11.27
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 INOUE SOICHI;MORI ICHIRO;ONISHI KIYONOBU
分类号 G03F7/20;G03F7/38;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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