发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06163365(A) 申请公布日期 1994.06.10
申请号 JP19920314495 申请日期 1992.11.25
申请人 NEC CORP 发明人 ISOZAKI TSUNEAKI
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
地址