| 发明名称 |
METHOD OF FORMING AL OR AL ALLOY FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06163429(A) |
申请公布日期 |
1994.06.10 |
| 申请号 |
JP19920317424 |
申请日期 |
1992.11.26 |
| 申请人 |
KAWASAKI STEEL CORP |
发明人 |
YAMAMOTO HIROSHI;NAKANO TADASHI;KONDO HIDEKAZU;OOTA TOMOHIRO |
| 分类号 |
C23C16/00;C23C16/06;H01L21/205;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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