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发明名称 PLASMA TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06163427(A) 申请公布日期 1994.06.10
申请号 JP19920314974 申请日期 1992.11.25
申请人 SONY CORP 发明人 NISHIMURA TOMOKAZU;NAGABUCHI WATARU;FUJIYOSHI EIJI
分类号 C23C16/50;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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