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发明名称 CHEMICAL VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06163483(A) 申请公布日期 1994.06.10
申请号 JP19920305544 申请日期 1992.11.16
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YOSHIMURA HIDEFUMI
分类号 C30B25/02;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
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