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发明名称 CONVEYING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH06163669(A) 申请公布日期 1994.06.10
申请号 JP19920335223 申请日期 1992.11.20
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 ASAKAWA TERUO;IKEDA TORU;IWATA TERUO
分类号 B65G49/00;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B65G49/00
代理机构 代理人
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