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发明名称 SEMICONDUCTOR SUBSTRATE CLEANING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH06163505(A) 申请公布日期 1994.06.10
申请号 JP19920331118 申请日期 1992.11.17
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 KANEDA TETSUYA
分类号 H01L21/304;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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