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发明名称 FORMING METHOD OF OHMIC CONTACT ELECTRODE
摘要
申请公布号 JPH06163455(A) 申请公布日期 1994.06.10
申请号 JP19920318269 申请日期 1992.11.27
申请人 A T R KOUDENPA TSUSHIN KENKYUSHO:KK 发明人 DEBITSUDO ROOBERU;TAKEBE TOSHIHIKO;WATANABE TOSHIHIDE
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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