发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06163399(A) |
申请公布日期 |
1994.06.10 |
申请号 |
JP19920315437 |
申请日期 |
1992.11.25 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD |
发明人 |
KISHIMOTO AKIHIRO;TOKUDA JUN |
分类号 |
H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
H01L21/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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