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发明名称 ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH06162980(A) 申请公布日期 1994.06.10
申请号 JP19920315120 申请日期 1992.11.25
申请人 ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD 发明人 KUWABARA HAJIME
分类号 G21K5/04;H01J27/16;H01J37/08;H01L21/265;H05H1/00;(IPC1-7):H01J37/08 主分类号 G21K5/04
代理机构 代理人
主权项
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