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发明名称 COMPACTION PROCESSING METHOD FOR LAYOUT
摘要
申请公布号 JPH06162141(A) 申请公布日期 1994.06.10
申请号 JP19920314493 申请日期 1992.11.25
申请人 NEC CORP 发明人 SAGARA TAISUKE
分类号 H01L21/82;G06F17/50;(IPC1-7):G06F15/60 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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