| 发明名称 |
CONTROL METHOD FOR ETCHING LIQUID |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06163509(A) |
申请公布日期 |
1994.06.10 |
| 申请号 |
JP19920199648 |
申请日期 |
1992.07.27 |
| 申请人 |
MITSUBISHI KASEI CORP |
发明人 |
KUBOTA MITSUGI;KOIKE YUTAKA;HATAKEYAMA FUMIO |
| 分类号 |
G01N31/16;G01N31/22;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
G01N31/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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