发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH06163680(A) 申请公布日期 1994.06.10
申请号 JP19920313629 申请日期 1992.11.24
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 HASHIGUCHI GEN
分类号 H01L21/762;H01L21/76;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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