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发明名称
FORMATION METHOD OF CAPACITOR ON SAME SUBSTRATE AS MOS TRANSISTOR, CAPACITOR FORMED BY IT AND FORMATION METHOD OF ELECTRIC STRUCTURE
摘要
申请公布号
JPH06163818(A)
申请公布日期
1994.06.10
申请号
JP19910265335
申请日期
1991.09.17
申请人
MAIKURERU SEMICONDUCTOR
发明人
MAATEIN JIEI ORUTAA
分类号
H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8234;H01L27/06;H01L27/08;H01L29/94;(IPC1-7):H01L27/04
主分类号
H01L27/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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