发明名称 WIRING STRUCTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06163545(A) 申请公布日期 1994.06.10
申请号 JP19920335605 申请日期 1992.11.20
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 ITAKUSU MOTOKUNI
分类号 H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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