发明名称 |
APPARATUS OF POLISHING CHAMFERED SECTION OF WAFER |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH06163342(A) |
申请公布日期 |
1994.06.10 |
申请号 |
JP19920316952 |
申请日期 |
1992.11.26 |
申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
HASEGAWA FUMIHIKO;OTANI TATSUO;KURODA YASUYOSHI |
分类号 |
B24B9/00;H01L21/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
B24B9/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|