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发明名称 METHOD FOR SELECTIVE FLATTENING POLISHING
摘要
申请公布号 JPH06163489(A) 申请公布日期 1994.06.10
申请号 JP19920318904 申请日期 1992.11.27
申请人 NEC CORP 发明人 HAYASHI YOSHIHIRO
分类号 H01L21/304;H01L21/3105;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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