| 发明名称 |
LIGHT SOURCE DEVICE, AND DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING MATERIAL USING SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06163406(A) |
申请公布日期 |
1994.06.10 |
| 申请号 |
JP19920330914 |
申请日期 |
1992.11.17 |
| 申请人 |
RICOH CO LTD |
发明人 |
MORI KOJI;KONDO NOBUAKI;KUSUNOKI MASAMUNE |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/26;H01L21/268;H01S3/00;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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