发明名称 FORMATION OF SINGLE-CRYSTAL SILICON LAYER FOR THIN-FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH06163590(A) 申请公布日期 1994.06.10
申请号 JP19920336646 申请日期 1992.11.24
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 ASAGI NORIO;HAYASHI TSUKASA
分类号 H01L21/20;H01L21/263;H01L21/268;H01L21/324;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/784 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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