发明名称 |
INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND FABRICATION THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06163541(A) |
申请公布日期 |
1994.06.10 |
申请号 |
JP19920312278 |
申请日期 |
1992.11.20 |
申请人 |
KAWASAKI STEEL CORP |
发明人 |
NOGAMI TAKESHI;MIYAMOTO IKUO;ONO HIDEAKI;NAKANO TADASHI |
分类号 |
H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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