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发明名称 CHEMICAL VAPOR GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPH06163426(A) 申请公布日期 1994.06.10
申请号 JP19920313863 申请日期 1992.11.25
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KONO MICHIARI
分类号 H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285;H01L29/43;(IPC1-7):H01L21/205;H01L29/46 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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