| 发明名称 |
SURFACE TREATMENT FOR THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06163540(A) |
申请公布日期 |
1994.06.10 |
| 申请号 |
JP19920311641 |
申请日期 |
1992.11.20 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
MORI MITSUMASA;KAWASHIMA YASUO |
| 分类号 |
H01L21/306;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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